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山西質量流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?

來源: 時間:2022-06-17 11:18:43 瀏覽次數:

質量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體

山西質量流量控制器可以用于控制各種氣體包括腐蝕性氣體和特殊氣體但是要注意對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體以免因為選型或選擇密封材料錯誤造成嚴重損失。

通常氣體質量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于氣體包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議好采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價格較高通常要求不高的場合均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封可以用于大多數酸性和堿性腐蝕性氣體例如可以用于氯化氫等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠有機溶劑汽氛(丙酮、甲苯等)——需要采用硅橡膠三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等——需要采用全氟橡膠。

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